臭氧流量/臭氧浓度：18~36L/min/10-30mg/L。
臭氧消毒机主要用于食品药品化妆品等行业的加工车间和类似场所的空气灭菌和物体表面灭菌。臭氧消毒机按安装形式可分为：移动式、壁挂式、 臭氧发生器是 利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存 ，一般只能利用臭氧发生器现场生产，随产随用。
推荐使用臭氧发生器（又名：臭氧消毒机），臭氧是一种强氧化剂，氧化能力仅次于氟，杀菌效率是氯的3000倍，可以于短时间内将空气中及水中的浮游细菌消灭，并且能中和、分解各种有毒物质，去除一切恶臭，并且能漂白澄清水中污染物质。由于臭氧的不稳定性，在常温状态下20分钟，即分解为纯氧，无二次污染物；由于臭氧是气体，可以迅速扩散到空间的各个角落，消毒不留死角。臭氧发生器还可以制成臭氧水清洗果蔬去除农残。
臭氧消毒机的工作原理是氧化反应，分别是臭氧对细菌及病毒的灭活。臭氧对细菌的灭活反应迅速。臭氧可以细菌细胞壁脂类双键反应, 穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡，这是与其他杀菌剂不同之处。